1. Spray Coater

       Photo Resist, Chemical Spray coating

                 적은양을 분사해도 원하는 두께를 조절할 수 있기 때문에 경제적입니다.

시료표면의 단차, 요철, 굴곡의 형상에도 균일한 두께로 도포 가능

 사각형 및 다각형의 시료에 용이하다.

  2. 셀 합착기 ( Bond Aligner )

2개의 시료를 정렬 및 합착하는 장치

적용가능 시료

      1. Glass + Glass

      2. Film + Glass

      3. Wafer + Glass

      ※ Si Wafer + Si Wafer ( IR Lamp 적용 )

  3. Polarizer(편광) 경사 스캔 노광기 ( UV Scan Exposure System )      

       자외선( i line, G line )을 이용한 미세 패턴 노광

       편광광원 사용

       광 배향 소재합성

  4. 간이노광기 ( Exposure )

  5. Hot Press

      Top and Bottom의 이중 Hot Plate적용

 온도범위 : ~ 300℃

  회전방지 실린더 적용 : 회전정도 ±0.2° 이하

  Hard ware적인 leveling적용

  타이머 적용

  6. CCD Zoom Microscope

     Zoom microscope에 CCD camera를 부착하여 Monitor에 영상을 시현

  7. 교반압력탱크 ( Pressure Tank )

      액체를 가압하여 노즐로 압송하는 SUS 탱크이다.

        분체 및 액의 침전을 방지하기위해 임펠러를 회전시킨다.

   8. 실험용 지그 제작

      각종 공정장비 및 실험장치 JIG 제작

                Vacuum Packing jig                  필라피팅 인서트지그