■ Spin Coater

          : 반도체공정 중에서 Spin coater는 회전하는 chuck의 원심력을 이용하여 photolithography용 감광재료인 액상 photoresist를

            Wafer의 표면에 균일하게 도포하는 장비임

    ●  Table top(탁상형) Spin Coater

● 사 양

Item
  Specification
Sample Size

 Piece ~ 6inch wafer
Bowl Size

  250Ø x 110mm
Spin motor

 Servo motor(200W, 400W)
Spin speed
 ~4,000 rpm
Control
 PLC & Touch panel

Recipe

 20 Recipes
Step
 20 Steps
Chuck
 PP, AL(하드아노다이징)
   
   
   

 

 

 

 

    ●  Chamber type Spin Coater

● 사 양

Item
  Specification
Spin motor

 중공형 Servo motor
Spin speed
 100~500 rpm
Control
 PLC & Touch panel

Recipe

 20 Recipes
Step
 20 Steps
Chuck
 PP, AL(하드아노다이징)
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

 

 

    ●  Chamber type Spin Coater (PR Auto pump)

● 사 양

Item
  Specification
Sample size

  ~12 inch wafer, 400Ø
Spin motor

 중공형 Servo motor
Spin speed
 100~4000 rpm
Control
 PLC & Touch panel

Recipe

 20 Recipes
Step
 20 Steps
Chuck
 PP, AL(하드아노다이징)
PR supply   Auto pump
   
   
   
   
   

 

 

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